在地球上，

通常是對特定的封閉空間抽氣來獲得真空，

用來抽氣的設備稱為

真空泵。早期制成的真空泵，抽氣速度不大，極限真空低，很難滿足生產和科學

試驗的需要。

后來相繼制成一系列抽氣機理不同的真空泵，

抽速和極限真空都得

到不斷的提高。如低溫泵的抽氣速率可達

60000

升

/

秒，極限真空可達千億分之

一帕數量級。

需要

A.

為了保證真空系統能達到和保持工作需要的真空

(

負壓）

，除需要配備合適的、

抽氣性能良好的真空泵以外，

真空系統或其零部件還必須經過嚴格的檢漏，

以便

消除破壞真空的漏孔。

低

(

粗

)

真空、

中真空和高真空系統一般用氣壓檢漏

；

對于

超高真空系統，

在采用一般檢漏法粗檢以后，

還要采用靈敏度較高的檢漏儀，

如

鹵素檢漏儀和質譜檢漏儀來檢漏。

應用

B.

隨著真空獲得技術的發展，真空應用日漸擴大到工業和科學研究的各個方面。

真空應用是指利用稀薄氣體的物理環境完成某些特定任務。

有些是利用這種環境

制造產品或設備，如燈泡、電子管和加速器等。

這些產品在使用期間始終保持

真空；

而另一些則僅把真空當作生產中的一個步驟，

后產品在大氣環境下使用，

如真空鍍膜、真空干燥和真空浸漬等。

C.

真空的應用范圍極廣，主要分為低真空、中真空、高真空和超高真空應用。低

真空是利用低

(

粗

)

真空獲得的壓力差來夾持、

提升和運輸物料，

以及吸塵和過濾，

如吸塵器、真空吸盤

。

D.

中真空一般用于排除物料中吸留或溶解的氣體或水分、制造燈泡、

真空冶金和