早在1830年，F(xiàn)·Savrt曾用齒輪，次產(chǎn)生2.4*10^4 Hz的超聲波。
1876年F·Galton用氣哨產(chǎn)生3*10^4Hz的超聲波。
1916年P(guān)·Langevin(郎芝凡)首次致力于研究水下超聲波作為偵查手段。
1927年R·W·Wood 和 A·E·Loomis 首次發(fā)表對(duì)超聲能量作用的實(shí)驗(yàn)報(bào)告，為今天成為功率超聲學(xué)奠定了基礎(chǔ)。
我國功率超聲學(xué)研究始于1956年的12年的科學(xué)規(guī)劃。1959年超聲應(yīng)用(探傷、加工、種子處理、顯示、醫(yī)療、粉碎、乳化及染料等)取得了進(jìn)展。在基礎(chǔ)研究方面也有相當(dāng)深度，如棒的聲振動(dòng)，超聲波乳化和水中氣泡超聲吸收問題。
1965年開始研究了表面超聲波換能器，進(jìn)入80年代我國超聲學(xué)面向?qū)嶋H應(yīng)用。
B超醫(yī)療開始投入生產(chǎn)；超聲波加工、超聲波研磨、超聲波焊接、超聲波清洗、超聲波催化與濾礦及超聲技術(shù)育種等逐步開始形成一定規(guī)模的產(chǎn)業(yè)。壓電復(fù)合換能器研制成功，窄脈沖短余振探頭問世。
PVD新穎壓電薄膜換能器及超聲顯微鏡獲得實(shí)用；高頻壓電材料LiNbO3 研制成功和走向?qū)嵱谩?/strong>
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