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　現(xiàn)代機(jī)床的發(fā)展使得主軸的高轉(zhuǎn)速越來越高，要深入研究主軸的熱誤差，就必須找到一種方法可以實(shí)時(shí)測量主軸的熱變形，同時(shí)要求數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)有較高的采樣速度。現(xiàn)提出一種基于三路單光束干涉儀的主軸熱誤差實(shí)時(shí)測量方法。

　　檔案柜加工設(shè)備測量原理：SBI3（Single-BeamInterferome-terswith-3Channel），由共用一個(gè)激光頭的三路單光束干涉儀組成，每一路干涉儀包括一個(gè)偏振分光鏡PBS和參考鏡r（角錐棱鏡）、兩個(gè)K/4波片以及檢偏器和接收器，貓眼為三路干涉儀的共同靶鏡。使用一塊FPGA數(shù)據(jù)采集卡可同時(shí)對三路接收器信號(hào)及參考路信號(hào)進(jìn)行計(jì)數(shù)。