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三坐標測量設備隔振的措施一般采取挖隔振溝的，但隔振溝有它的局限性，隔振溝對于沖擊振動或大于30Hz的振動，隔振溝部分的隔振效果（主要是水平徑向振動，垂直方向振動沒有多大效果）；對于低頻振動則效果甚微，甚至幾乎沒有什么效果。而且施工時間長、成本高。隨著減震技術的不斷發展，現在很多工廠已經采用新的減震：安裝錦德萊氣壓式避震器防震腳（此產品說明歸東永源機械公司所有，未經許可，不得轉載！）。
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