四氟化碳又稱四氟甲烷，氟利昂14；分子式CF₄；CAS號：75-73-0

物化性質：

　　熔點     -183.6℃，

　　沸點     -128.1℃，

　　液體密度（-130℃）1.613g/cm3，

　　臨界溫度 -45.67℃，

　　臨界壓力 3.73MPa，

臨界密度 7.1dm3/mol，

在常溫下，四氟化碳是無色、無臭、易壓縮性氣體，具有很高的穩定性，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水。屬于完全不燃性氣體。

應用及市場：

四氟化碳高純氣及其高純氣配高純氧氣的混合體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻；在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、航天技術、金屬冶煉、氣相絕緣、低溫制冷等諸多方面也大量使用。

另外，近期研究發現，四氟化碳的溶氧性很好，可用于超深度潛水代替壓縮空氣，目前該試驗已獲得成功。